「半導體濕製程需要的化學品上百種，其中液體高達9成，像是顯影劑用的四甲基氫氧化銨（TMAH）等有機溶劑，可透過回收技術（蒸餾）與特殊回收設備處理，且在達到一定純度後進行轉售。隨著碳稅正式上路，也增強業者投資回收技術與設備的誘因。」日商瑞環業務總監三宅光也向本刊表示。
「多年來，台積電已養出兆聯、華漢等製程用再生水回收好幫手，這些協力廠對施工、不同化學品所需的管線材質十分熟悉，與台積電關係非常緊密。」山林水總經理吳人傑向本刊提出他的觀察，他並進一步指出，山林水以處理民生廢水回收為主，日前標下高雄楠梓再生水廠BTO案後，預計2028年透過南科管理局轉供給台積電利用。
「不過，我們（山林水）的民生廢水回收後，若要進入晶圓製程使用，還得經過數10道程序；此時，就得借重製程用水系統廠商來處理。」吳人傑一邊描述半導體再生水的利用流程，一邊點出兆聯等製程用再生水回收業者的重要性。
吳人傑認為，台積電海外大擴廠，這類業者（系統廠）因在建廠之初就導入施作，自然容易跟著把服務整廠輸出到海外，成為台積電海外建廠受益者。
業界人士指出，一般工業用水可區分前段的超純水、中段製程的回收水、末段的廢水處理，而半導體從鋁製程、銅製程發展到最先進的鈷製程，在中段製程的回收難度大幅拉高。
除了兆聯等業者，分析師余佩儒也點名，信紘科、友達旗下的友達宇沛，也正從既有廠務衍生新事業卡位再生水處理服務。
據了解，廠務設備起家的信紘科，早從2012年就與台積電展開合作，透過二氧化碳與氨氣等機能水清洗設備的開發，取代過去有危害物質如N-甲基吡咯烷酮（NMP）的清洗方式，並取得台積電認證，今年也隨之一起在日本設置辦事處，滿足客戶綠色製程需求。
