至於驅動這項服務的幕後大功臣,就是2019年公司自行開發的原子層沉積設備(ALD),「這可是國內少數、直接瞄準總部來自荷蘭ALD巨頭ASM(從艾司摩爾ASML分拆之公司)的本土高階設備!」易錦良驕傲地說。
天虹董事長黃見駱進一步補充,ALD設備具高精度薄膜沉積等特性,「邊邊角角、深的、歪的都能覆蓋,加上製程溫度比傳統物理/化學沉積(PVD/CVD)低,在結構複雜的電晶體可有效保護元件,優勢逐一浮現。」
黃見駱指出,在28奈米以下的製程節點,就已有部分製程導入ALD設備,然而,ALD每鍍一層都需要一個完整進氣循環,速度較慢,放在大面積的晶圓較有效益,「但好處也是因為慢,製程溫度比CVD低,如今先進製程晶片設計成本昂貴,有效保護元件等於提高良率,優勢逐一浮現。」他說。
何以天虹有此遠見,能在多年前就有獨到眼光押注ALD?「我跟George(易錦良)在設備界都是玩了快卅年的老傢伙,摸過大大小小的機器不下數千台,不只技術經驗,也有一定的市場敏感度。」黃見駱笑著說。
原來,在美商應材曾當到全球副總裁暨客服營運事業處總經理的易錦良,6年前應黃見駱、創辦人羅偉瑞邀請加入天虹,三人都是應材時期的同袍戰友,在易錦良還沒來天虹前,天虹已是一家成立14年在做得有聲有色的半導體設備零組件維修服務廠。
憑著既有事業打下的業務與財務基礎,三人開始思考自己的老本行(設備),一度還在媽祖神明前嚴肅討論,最後終於達成共識,決定以自有品牌投入長期外商盤據的半導體前段設備,突圍國際。
「我們不光自己品牌,軟體也是自己寫、更有高達7成的零組件來自國產,這樣才有競爭力。」在易錦良的領軍下,天虹先從本身在應材就相當熟悉、市場也成熟的物理沉積(PVD)設備開發,同步著手研發ALD設備,為了避免與大廠正面交鋒,公司繞彎往光電產品與第三代半導體等利基市場開拓業務,沒想到意外透過晶電引薦,取得蘋果(Apple)正要推動MiniLED所需的ALD設備認證。
「蘋果絕對是我們設備開發的第一桶金。」回想與蘋果的合作,易錦良還分享,天虹起家厝位於新竹義民廟旁,當時是相當簡陋的鐵皮屋,「疫情爆發前,他們(蘋果)派了十多人來看廠,差點把二樓會議室擠爆。」簡報時,他甚至刻意用蘋果創辦人賈伯斯也是從車庫起家結尾,希望對方別因鐵皮屋的外觀有所掙扎。
「不過,該走的流程還是照走,蘋果要求供應商提供財報,還好我們底氣夠。」黃見駱說,在蘋果加持下,天虹逐漸嶄露頭角,不但成為國際級的ALD設備商,回歸半導體市場,也將在晶背供電、先進封裝等下一世代做好卡位。
埃米時代來臨,在多家具有技術實力的台廠助拳下,護國神山決戰對手,將更具勝出本錢。